本真空計屬皮拉尼真空計,可測量的壓力范圍從大氣壓至5×10-2Pa。本真空計從控制面板上去除了操作及顯示部分,只保留了必要的功能,從而降低了價格,使外形更小巧,而且已通過CE認證。
用途
可用于半導體、電子原件為首的各種制造裝置的低真空領域的過程管理;
可用于真空爐為首的各種產業機器的低真空領域的過程管理;
可用于連續性、多樣性工作室的各種制造設備的低真空領域的過程管理。
特長
可測量范圍廣:從大氣壓至5×10-2Pa
傳感器與控制部一體化:節省空間、降低能耗
名稱 | 皮拉尼真空計 | |||
機型名稱 | 標準型 | 串行通信型 | ||
Model名 | SW1-N1 | SW1-N2 | ||
可連接規管 | 1個 | |||
適用規管 | SWP-16-N | |||
可測量壓力范圍 | 5.0×10-2~1.0×10+5Pa | |||
測量精度※1(N2) | 1×10-1Pa~1×10+4Pa | : ±10% | ||
| 1×10+4Pa~1×10+5Pa、5×10-2Pa~1×10-1Pa | : ±20% | ||
反復性 | 1×10-1Pa~1×10+4Pa | : ± 2% | ||
采樣時間 | 50ms 5次的移動平均處理 | |||
測量值的輸出 | 輸出電壓 DC 0~10V 壓力顯示 1.7V~8.0V LOG輸出 1V/位 | |||
| 更新時間 | 50ms | ||
分辨率 | 4mV | |||
輸出電阻 | 10Ω | |||
輸出電阻 | 10Ω |
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串行通信 |
| RS-485/RS-232C | ||
| 通信速度 | 9600/19200/38400bps | ||
記憶功能 | 通過EEPROM備份 | |||
LED顯示 | POWER/ERROR: 電源、出錯LED | |||
| SET-1: 設定點1 LED |
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| SET-2: 設定點?2 LED | |||
IP保護等級 | IP30 | |||
主體重量 | 控制器:約 105g 規管(SWP-16):約 45g | |||
外形尺寸 | 70×46×28 (控制器) |